压缩的目的是提高压力以利于HCL吸收。 2、冷凝的目的是利用低温的氟利昂将尾气中的氯硅烷液化，以利于吸收塔HCL的吸收。 3、吸收的目的是用低温氯硅烷液体将混合气中的HCL，达到分离氢气与氯化氢的目的。 4、解析的目的是将吸收塔吸收的HCL解析分离出来，使氯硅烷再生和重复利用。